Elektronenenergieverlustspektroskopie wird meist mit dem Akronym EELS (englisch electron energy loss spectroscopy) abgekürzt und im Deutschen in älterer Literatur auch EEVA (Elektronenenergieverlustanalyse) genannt. Eingesetzt wird sie im Wesentlichen in der analytischen Transmissionselektronenmikroskopie zur stöchiometrischen und elektronischen Charakterisierung anorganischer und organischer Strukturen sowie, als Sonderform HREELS, in der Oberflächenchemie und Oberflächenphysik zur Untersuchung von Festkörperoberflächen (siehe hierzu auch Schwingungsspektroskopie, Elektronenspektroskopie).
Bei dieser Spektroskopieart wird das Spektrum des Energieverlustes zunächst monoenergetischer („monochromatischer“) Elektronen nach Wechselwirkung mit einer Probe bestimmt. Monoenergetisch bedeutet hier insbesondere, dass die Breite der Energieverteilung der Primärelektronen klein gegenüber der Breite des gemessenen Spektrums sein soll, die Breite dieser Primärenergieverteilung bestimmt natürlich auch die erreichbare spektrale Auflösung des Verfahrens.
Die Primärelektronen wechselwirken über ihr elektrisches Feld mit den geladenen Teilchen der Probe (in Atomkernen mit Neutronen zusammengefasste Protonen sowie Elektronen). Da die Atomkerne sehr viel massereicher sind als einzelne Elektronen, ist der Energieübertrag von den Primärelektronen auf die Kerne vernachlässigbar (sogenannte elastische und quasielastische Streuung). Anders ist das bei der Wechselwirkung mit den Festkörperelektronen. Hier kann es zu merklichen Energieverlusten kommen (inelastische Streuung). Den Festkörperelektronen als Fermionen sind nun keine beliebigen Energieaufnahmen gestattet. Die für sie erlaubten energetischen Zustände und Übergänge dazwischen sind durch die Bandstruktur bzw. in guter Näherung für tieferliegende Energieniveaus durch die atomaren Bindungszustände vorgegeben. Daraus folgt eine charakteristische Wahrscheinlichkeitsverteilung für Energieüberträge: das Energieverlustspektrum, das im EELS-Experiment bestimmt wird.
Meist ist mit EELS die Anwendung der Methode im Transmissionselektronenmikroskop gemeint. Die Primärenergie
Die Wahrscheinlichkeit eines Energieverlustes
ausgedrückt. Hier ist
Eine Abwandlung und Verfeinerung der Methode stellt die hochauflösende Elektronenenergieverlustspektroskopie (HREELS, Abk. für engl. {{Modul:Vorlage:lang}} Modul:Multilingual:149: attempt to index field 'data' (a nil value)) dar, die den für die Schwingungsspektroskopie wichtigen Bereich um 15 bis 600 meV betrachtet. Bei dieser Methode wird üblicherweise mit deutlich geringeren Primärelektronenenergien als bei der normalen Energieverlustspektroskopie gearbeitet, und es werden spezielle Spektrometer eingesetzt. Die geringe Primärelektronenenergie erlaubt in der Regel nicht, in Transmission zu messen. Vielmehr ist HREELS eine Methode der Oberflächenanalytik.