Arc-Enhanced Glow Discharge

Arc-Enhanced Glow Discharge

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Als {{Modul:Vorlage:lang}} Modul:Multilingual:149: attempt to index field 'data' (a nil value) (AEGD), deutsch: Bogengestützte Glimmentladung, wird die Erzeugung eines Gasplasmas durch Nutzung der Elektronen einer Vakuumbogenentladung bezeichnet. Dazu werden die Elektronen der Vakuumbogenentladung zu einer positiv vorgespannten Elektrode beschleunigt. Die beschleunigten, hochenergetischen Elektronen regen die Gasatome (z. B. Ar, H) oder Gasmoleküle (z. B. N2)[1] an und ionisieren diese teilweise.[2] Die dadurch generierten Gasplasmen werden vorrangig für das Ionenreinigen und das Nitrieren vor der PVD-Hartstoffbeschichtung sowie DLC-Beschichtung (eine DLC-Schicht ist eine diamantähnliche Kohlenstoffschicht) eingesetzt.[3] Die Plasmaerzeugung mittels des AEGD-Prozesses wird in PVD- und DLC-Beschichtungsanlagen, die mit Lichtbogenverdampfern oder Magnetron-Sputterquellen (z.B. in Hybrid-PVD-Anlagen bestehend aus HiPIMS-Magnetrons plus Lichtbogenverdampfen) angewendet.[4] Erfunden wurde das Prinzip von Jörg Vetter und Mitarbeitern.[5][6]

Einzelnachweise

  1. J. Vetter, T. Wallendorf: Plasma diagnostics of arc-enhanced glow discharge. Surface and Coatings Technology vol. 76-77 issue 1-3 November, 1995. p. 322-327
  2. J. Vetter, W. Burgmer, A. J. Perry: Arc- enhanced glow discharge in vacuum arc machines, Surface&Coatings Technology, Volume 59, issue 1-3, (October 1, 1993), p. 152-155
  3. Technologie (Plasmatec GmbH)
  4. J. Vetter, J. Müller und G. Erkens: Domino Platform: PVD Coaters for Arc Evaporation and High Current Pulsed Magnetron Sputtering. In: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. Band 39, Nr. 012004, doi:10.1088/1757-899X/39/1/012004.
  5. Patentschrift EP534066B1
  6. Patentanmeldung US5294322A