Intrinsische Leitfähigkeit entsteht dadurch, dass Festkörper (von sich aus, intrinsisch) dazu neigen, Gitterfehler auszubilden und damit eine Ladungsbewegung („Ionenleitung“ oder „Elektrische Leitfähigkeit“) ermöglichen.
In einem Festkörper können Gitterfehler wie zum Beispiel Schottky-Defekte und Frenkel-Defekte auftreten. Sie sind thermodynamisch begünstigt, da sie einen Entropiegewinn bringen. Das System neigt demnach bis zu einem gewissen Grad dazu, Defekte auszubilden (siehe Defektkonzentration). Diese Fehler werden als intrinsische Fehler bezeichnet. Die Defektkonzentration ist temperaturabhängig. Sie steigt mit der Temperatur und hat bei 0 K den Wert null. Intrinsische Defekte sorgen folglich bei Temperaturen > 0 K für bewegliche Ladungen und damit für eine intrinsische Leitfähigkeit.