Die Kelvin-Sonde (englisch Kelvin probe, KP) findet bei der zerstörungsfreien Messung der Austrittsarbeit und bei der Untersuchung von Delaminierungsprozessen an Polymer-, Oxid- und Metall-Grenzflächen Verwendung.[1] Die Kombination einer Kelvin-Sonde mit einem Rasterkraftmikroskop wird als Raster-Kelvin-Mikroskop oder Kelvinsondenkraftmikroskop (engl. {{Modul:Vorlage:lang}} Modul:Multilingual:149: attempt to index field 'data' (a nil value), SKPM, oder {{Modul:Vorlage:lang}} Modul:Multilingual:149: attempt to index field 'data' (a nil value), KPFM) bezeichnet.
Der Name der Kelvin-Sonde geht auf Lord Kelvin zurück.[2]
Werden zwei Metalle in Kontakt gebracht, so fließen energiereichere Elektronen vom Metall höheren Fermi-Niveaus zu jenem mit geringerem Fermi-Niveau, bis diese auf gleicher Höhe liegen (vgl. Kontaktpotential). Aus diesem Elektronenfluss entsteht ein elektrisches Feld und eine Kontaktspannung
Die beiden Metalle haben gegeneinander eine Kapazität
Bei der Messung mit einer Kelvin-Sonde verhalten sich die leitfähige Sonde, die über der Probe mit Piezoaktoren in Schwingung versetzt wird, und die Probe wie zwei Kondensatorplatten.[4] Durch die Schwingung wird ein Strom
Der Aufbau eines KPFM ähnelt einem Rasterkraftmikroskop und kann eine bessere Ortsauflösung als die Kelvin-Sonde liefern. Als Sonde dient in diesem Fall eine sehr feine, leitfähige Spitze. Aufgrund der kleinen Geometrie der Spitze ist die Kapazität zwischen Spitze und Probe und somit auch der influenzierte Strom